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K-mate射頻電源及匹配器針對不同負載選擇相對應的阻抗匹配器

發布時間：2015-08-18 08:50 發布人：admin 瀏覽量：3231

首先在使用K-mate產品時，要明確應用設備的負載是容抗負載還是感抗負載，根據不同類型的負載選擇相適應的射頻匹配器。（在采購或調試時告知我司銷售人員或技術人員）。容抗負載多指的是真空腔體內電極放電，如磁控濺射，等離子清洗，RIE反應刻蝕，平板PECVD.感抗負載多指是通過線圈耦合等離子體放電，如管式PECVD，ICP刻蝕，射頻感應加熱等。在選用我司500W功率的射頻電源時，容抗負載建議選擇VENA-500（0010+00077），感抗負載時應選擇VENA-500(0010+00077)并告知負載線圈的規格如銅管的大小，線圈的內徑，圈數，及間距。以便我們在出廠時做好調試。在選用1000W匹配器時也需如此。

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