SEMICON CHINA 2016 3-17日在上海新國(guo)際博覽中心落下帷(wei)幕。中山市酷美(mei)電(dian)子(zi)攜(xie)公司射頻(pin)電(dian)源(yuan)及自動匹配器系列產品參展獲得國(guo)內外商家的高(gao)度關注(zhu)與認可。在半導體制造行業中，在生(sheng)產芯(xin)片、處理(li)器等(deng)(deng)半導體器件(jian)、薄(bo)膜太陽能電(dian)池(chi)、液晶等(deng)(deng)平板顯示器過程中，都(dou)要(yao)用到(dao)這種電(dian)源(yuan)。是產生(sheng)等(deng)(deng)離子體的配套電(dian)源(yuan),由(you)射(she)頻功率源(yuan)，阻抗匹配器(qi)以及(ji)阻抗功率計(ji)組(zu)成，是八十年(nian)末期(qi)在我(wo)國(guo)新興的高科技領(ling)域，應用(yong)于射(she)頻濺射(she)，PECVD 化學氣相沉(chen)積，反應離子刻蝕等(deng)設備中。

在(zai)2008年以前射頻電源技術主(zhu)要掌握在(zai)美、日、德等少(shao)數(shu)國家的少(shao)數(shu)廠(chang)家中(zhong)，如美國的AE（Advanced Energy）、MKS（MKS Instruments）、日(ri)本的DAIHEN、德國的Huettinger等。

在八十年代末期我國(guo)雖然引進射頻(pin)電(dian)源(yuan)的技術(shu)，也嘗試做過研(yan)發生(sheng)產。但是(shi)由于關鍵技術(shu)無(wu)法(fa)突破，主要有（固態(tai)晶(jing)體(ti)管(guan)，自(zi)(zi)動(dong)匹配）等(deng)技術(shu)限制一直(zhi)無(wu)法(fa)生(sheng)產固態(tai)晶(jing)體(ti)管(guan)的射頻(pin)電(dian)源(yuan)及能夠自(zi)(zi)動(dong)匹配的射頻(pin)阻抗匹配器。這當中尤其以自(zi)(zi)動(dong)匹配更為重中之(zhi)重。故我國(guo)的射頻(pin)電(dian)源(yuan)研(yan)發及應用一直(zhi)停步不前。根本無(wu)法(fa)與國(guo)外的射頻(pin)電(dian)源(yuan)廠商競爭。

隨(sui)著(zhu)(zhu)九十年代我國第一臺固態晶體管誕生，但是射頻自(zi)動匹配一直使我們無法突破的屏障。隨(sui)著(zhu)(zhu)時(shi)間的轉移2008年中山市格(ge)美電(dian)子研(yan)發出(chu)我國第一(yi)臺(tai)國產射頻自(zi)動匹配器。打破了外國廠商一(yi)直壟斷的(de)國內市場。隨(sui)著(zhu)這(zhe)幾年我們不斷的(de)完善與改進。K-Mate         射(she)頻(pin)電源及(ji)自動(dong)匹(pi)配(pei)器越來(lai)越多的(de)出現在國內的(de)實驗及(ji)產線設(she)備上。并(bing)獲得國內許多知名企業及(ji)行業資深人(ren)士的(de)認可。同時逐(zhu)步銷往一些東南亞國家。

2016我們(men)整裝待發，從國內走向國際市場