1.如果之前是能正常(chang)使用的,出現這種情況多數是負載(zai)發生變(bian)化導致匹配范(fan)圍超出如真(zhen)空度,腔體發生變(bian)化。
2.如(ru)果腔體及靶材沒有發生變化(hua),可以(yi)檢查一(yi)下預置位置是否(fou)太偏(pian)。可以(yi)嘗試(shi)取一(yi)個(ge)T/L 50%的預置點來重新匹配(pei)。或者嘗試(shi)手動調節T/L是否(fou)能夠達到(dao)匹配(pei)。
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