等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子清潔機，或者等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術，利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質的一種狀態，也叫做物質的，并不屬于常見的固液氣三態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、的核素（）、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、涂覆等目的。                                                                   

等離子清洗機的結構主要分為三個大的部分組成，分別是控制單元、以及真空泵。就以下三個部分做一個陳述：

一、控制單元：

目前國內使用的等離子清洗機，包括國外進口的，控制單元主要分為半自動控制、、PC電腦控制、控制四種方式。

而控制單元又分為啷個大的部分：1）電源部分：主要電源頻率有三種，分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要電源匹配器的，而2.45GHz又稱為微波等離子

二、真空腔體：

真空腔體主要是分為兩種材質的：1）不銹鋼真空腔體，2）石英腔體。

三、真空泵：

真空泵分為兩種：1） 、2）油泵

中頻電源等離子清洗機，主用作用是物理作用。以單純的離子轟擊清洗物件的表面為主。

射頻電源等離子清洗機，主要作用是物理作用加化學作用相結合，以物理轟擊物件表面濺射出表面原子與氣體中電離的分子，原子產生化學反應，以達到表面改性的作用。

微波電源等離子清洗機，主用是化學作用，但是目前國內很少用到，考慮到屏蔽效果的原因。

等離子清洗特點：

容易采用數控技術，自動化程度高；具有高精度的控制裝置，時間控制的精度很高；正確的等離子體清洗不會在表面產生損傷層，表面質量得到保證；由于是在真空中進行，不污染環境，保證清洗表面不被

目前隨著社會的不斷發展人們對產品質量與環境要求的不斷提高，等離子清洗正逐步替代傳統的化學清洗被廣泛應用于電子行業（PCB板，LED，手機，汽車），橡塑，（橡膠，塑料表面清洗，絲印）醫療行業等。

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